Cirkonijev cilj je materijal koji se koristi u procesu fizičkog taloženja pare (PVD), koji se obično koristi za stvaranje tankih filmova. Cirkonij (kemijski simbol ZR) je prijelazni metal s izvrsnom otpornošću na koroziju, visokom točkom taljenja i dobrim mehaničkim svojstvima. Cirkonijevi ciljevi široko se koriste u poluvodičima, optičkim premazima, ukrasnim premazima i funkcionalnim filmovima.
Točka topljenja: 1852 stupnja
Točka ključanja: 4400 stupnjeva
Gustoća: 6,5 g/cm³
Specifikacije: ravni cilj/okrugli cilj
Standard implementacije: ASTM B550 GB/T 8769-2010 GB/T 26314-2010
Glavna područja primjene
1. Poluvodička proizvodnja: cirkonijevi ciljevi koriste se za polazak visokih dielektričnih konstantnih (visoko-K) filmova, poput cirkonijevog oksida (ZRO₂), za dielektrične slojeve vrata tranzistora.
2. Optički premazi: Cirkonijevi filmovi imaju visoki indeks loma i dobra optička svojstva, a često se koriste u anti-refleksijskim filmovima ili reflektivnim filmovima za optičke uređaje i leće.
3. Dekorativni premaz: cirkonijevi ciljevi mogu se koristiti za pripremu dekorativnih prevlaka otpornih na habanje i korozije, poput satova, nakita itd.
4. Funkcionalni tanki filmovi: Tanki filmovi cirkonija mogu se koristiti i u pripremi gorivnih ćelija, senzora i katalizatora.
Karakteristike cirkonijevih ciljeva
Visoka čistoća: Čistoća cirkonijevih ciljeva obično je potrebna da bi se dostigla više od 99,9% kako bi se osigurala izvedba filma.
Visoka gustoća: Cilj je potrebna velika gustoća za smanjenje stvaranja čestica tijekom raspršivanja.
Dobra ujednačenost: Kemijski sastav i mikrostruktura cilja moraju biti ujednačeni kako bi se osigurala konzistencija filma.
Postupak pripreme
Priprema cirkonijevih ciljeva obično uključuje sljedeće korake:
1. Taljenje: Pripremite ingote visoke čistoće cirkoniju od vakuumskog luka ili rastopljenja zraka elektrona.
2. Kovanje i kotrljanje: Poboljšajte mikrostrukturu i mehanička svojstva materijala vrućom obradom.
3. Obrada: Obradite materijal u oblik i veličinu pogodnu za raspršivanje opreme.
4. Čišćenje i pakiranje: Osigurajte da je ciljna površina čista kako bi se izbjegla kontaminacija.
Popularni tagovi: SPUTTING COATING CINICONIUM TARTY, CHIN SPUTTERY PUTE CINIMUMIJ CILSIJSKI TIRCIJSKI PROIZVOĐAČI, DOBAVLJIVANJA, Tvornica, Volframska cijev visoke legure, Tantal štap u proizvodnji, Molibdenski cijev za visoku struju, Tantalum obrade šipke, Volfram cijev za katodu, Dijelovi volframa s niskom legurom
